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镀锌螺旋风管排气类型分类
（1）一般排气：其来自设备运行发烫造成没有有害物或者高溫气体，但考虑到洁净室中央空调负载与过滤系统负载，因而将废气以一般荷兰风车抽至大气排出至大气自然环境而不需解决。注：GEX选用热镀锌不锈钢风管，HEX选用SUS304酸排（SEX），碱排（AEX）系统步骤。
（2）酸碱性排气：其关键来自化学水处理工作平台，清理芯片时需造成之挥发物气体，此气体一部分带有烟雾，一部分则对呼吸道有刺激功效有危害身体，故务必通过Scrubber中水清洗中和解决，再由风机排入大气。
（3）有机溶剂排气：其关键来自点胶，显影液工艺流程和各工艺流程应用正己烷清理全过程时需造成，须经有机化学废气处理设备处理后，再由离心风机排进大气。
（4）碱性剥离排气：关键来源于为列阵工程项目的剥离工艺流程所应用之剥离液,废气首先通过冷疑净化塔,将废气中的剥离液制冷出来,冷却器消化吸收解决后的废气含有的废气浓度值会大幅降低,随后送往CentralScrubber做水清洗中和解决，再由离心风机排大气。
（5）应急排气：当净化室机台端风管中摄像头磁感应气体浓度值过高时，紧急启用以使生产正常并维持室内环境。
